日前，中科院微电子研究所在多晶白硅太阳能电池研究方面取得最重要突破。　　白硅是一种较低反射率的硅材料，和常规的硅材料比起，它具备极强的吸取光线的能力，可用作太阳能电池产业。

微电子所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员率领的研究团队原创性地明确提出利用等离子体水龙头离子注入技术制取白硅材料。该团队利用自行研制的等离子体水龙头离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目反对）制取了多种微观结构的黑硅材料，在红外线波段黑硅的平均值反射率为0.5%，与飞秒激光制取黑硅的反射率非常。

同时该工艺适应环境大批量制取，成本低，生产效率高。　　涉及科研论文公开发表在SolarEnergy、EnergyProcedia、JournalofElectronSpectroscopyandRelatedPhenomena、《物理学报》等期刊上，已申请专利30余项。　　通过对黑硅结构展开优化，并且对生产线电池设施工艺展开改良，在全国产设备生产线研发出有多晶白硅太阳能电池（156mm156mm，多晶），批量平均值效率高约17.46%，最低再往17.65%。

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