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美國ILT2400+XSD340B輻照計365nm波長30W/cm2高功率曝光

國際光學International Light ILT2400和XSD340B光刻膠測量系統用于326-401nm波段紫外線輻照度監測,校準于365nm光阻劑作用光譜,精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度,可測量高達30W/cm2 高強度,用于PCB印刷電路板光及半導體業。

紫外輻照計品牌:美國International Light
美國International Light

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XSD340B說明書
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XSD340B圖片

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美國International Light XSD340B 紫外輻照計規格參數與圖片

Photoresist光阻劑廣泛用于PCB線路板行業,通過其使用蝕刻化學品來布置電路連接或印刷電路板跡線,也被用于半導體工業,它是用于形成單個半導體器件的微小電路的微圖案的光刻生產中的關鍵步驟。Photoresist光刻膠工藝過程控制光線輻照強度和曝光時間至關重要,它可以避免在加工和生產過程中光刻膠的浪費性下曝光或曝光過度。為了保持這些設置,需要具有盡可能接近光阻劑作用光譜的測光表來精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度。

 

美國International Light國際光學公司致力于提供各種光刻膠專用儀器來實現曝光輻射強度測量。ILT2400輻照計以手持價格提供研究級質量,采用可分離探頭設計,具有8個量級的動態測量范圍,測量速度可達100μs,內置可充電電池持續長達8小時,4.3寸觸摸屏顯示,可橫向和縱向查看讀數或圖形曲線。XSD340B探頭響應波段326-401 nm,校準于365nm波長,可測量3e-6 W/cm2至30W/cm2光源輻照強度。ILT測光表和探測器均帶NIST可溯源ISO17025認證校準報告。

 

ILT XSD系列光刻膠輻照度探頭

ILT2400+XSD140A:量程4e-8 to 0.7 W/cm2,響應波段320-475 nm,校準于405nm波長

ILT2400+XSD340A:量程8e-7 to 10 W/cm2,響應波段320-475 nm,校準于405nm波長

ILT2400+XSD140B:量程7e-8 to 1 W/cm2,光譜范圍326-401 nm,中心波長365nm

ILT2400+XSD340B:量程3e-6 to 30W/cm2 高強度,測量光譜326-401 nm,校準于365nm

產品規格介紹文檔http://www.jwjzzs.com/download/201805/ILT2400_XSD340_SD140.pdf

ILT2400中文版簡易操作說明書http://www.jwjzzs.com/download/201805/ILT2400_Quick_Manual.pdf

分析儀軟件介紹文檔http://www.jwjzzs.com/download/201805/ILT_DataLight-Trend-Manual.pdf

 

美國International Light Photoresist光阻劑曝光輻照度測光表探頭選型

輻照計/探頭組合 響應波長頻譜 測量范圍 類型及應用
ILT5000, SED033/A/W 320-475 nm 2e-9 ~ 2 W/cm² 臺式,Photoresist光刻膠/光阻材料,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源
ILT2400, SED033/A/W 320-475 nm 2e-7 ~ 2 W/cm² 手持式,Photoresist光刻膠/光阻劑,同上
ILT1000/A/W 320-475 nm 2e-7 ~ 2 W/cm² 手持式,Photoresist光刻/光阻劑,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源
ILT1700, SED033/A/W 320-475 nm 7e-9 ~ 4 W/cm² 臺式,Photoresist光刻/光阻劑,同上
ILT2400, XSD140A 320-475 nm 4e-8 ~ 0.7 W/cm² 手持式,Photoresist光刻/光阻劑,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源
ILT2400, XSD340A 320-475 nm 8e-7 ~ 10 W/cm² 同上,大功率高強度輻照探頭
ILT5000, SED033/B/W 326-401 nm 3e-10 ~ 0.2 W/cm² 臺式,Photoresist光刻/光阻劑,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源
ILT2400, SED033/B/W 326-401 nm 2e-8 ~ 0.2 W/cm² 手持式,同上
ILT1700, SED033/B/W 326-401 nm 5e-9 ~ 0.5 W/cm² 臺式,同上
ILT1000/B/W 326-401 nm 2e-7 ~ 2 W/cm² 手持式,同上
ILT2400, XSD140B 326-401 nm 7e-8 ~ 1 W/cm² 手持式,Photoresist光刻/光阻劑,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源
ILT2400, XSD340B 326-401 nm 2e-6 ~ 30 W/cm² 手持式,Photoresist光刻膠/光阻劑,高強度測量
ILT2400, SSD001 260-400 nm 6e-6 ~ 0.9 W/cm² 手持式,超薄傳感器,
PCB板曝光系統,UVA光源,UV-Vis光源

 

另有UV固化測量系統ILT800傳送帶式紫外線固化設備曝光量測量,范圍5e-3 ~ 40 W/cm2;LT2400+XSD340AT7 320-475 nm,校準于405nm中心波長,可測輻照強度范圍高達60 W/cm²。ILT紫外殺菌測光系統ILT2400+SED254/QT,手持式,低可見度環境,高功率紫外線強度應用;ILT2400+SED185/NS185校準于185nm,臭氧/殺菌、光解廢氣、水處理行業。

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